电阻10nΩ - 100MΩ

源DC：10fA – 100mA AC：4pAp-p – 200mAp-p

PC 接口RS-232、GPIB、LAN

电流10aA - 20mA

电压1µV - 200V

电阻10mΩ - 200GΩ

直流电流-电压 (I-V) 范围 10 aA - 1A 0.2 µV - 210 V

电容-电压 (C-V) 范围 1 kHz - 10 MHz 30V 直流偏置

脉冲 I-V 范围 40 V (80 V p-p)，800 mA

200 MSa/s，5 ns 采样率

通道数 4

V/I 范围 100fA - 3A 100nV - 20V

精度 0.015% 6.5 位

最大速度 20k 个读数/秒到缓冲

最大电流源/量程50A-120mA

最大电压源/量程40V-3000V

测量分辨率（电流/电压）100fA / 100nV-1fA / 100nV

电源2000 W-180W

最大功率包络 60W DC

V & I 范围 100nV 至 1100V， 1pA 至 5A

精度 0.012% 6.5 位

最大速度 2000 rdgs/s 到缓冲

通道数 1 台脉冲发生器/1 台 SMU

脉冲发生器 V/I 范围 1 μA - 10 A 1 μV - 10 V

SMU V/I 范围 100 fA - 10 A 100 nV - 40 V

精度 脉冲发生器：0.05% SMU：0.015%

最大速度 1 M 个读数/秒

通道数 2 或 1

最小 V/I 脉冲源 <100 µs 0.1% 稳定

V/I 范围 0.1 fA 至 10 A， 100 nV 至 200 V

最大速度 20k 个读数/秒到缓冲

最大功率包络 100W DC 1000W 脉冲

V & I 范围 10n V 至 1100 V， 10 fA 至 10 A

最佳精度 0.012% 6.5 位

最大速度 1 MS/s 采样率 100 kS/s 到缓冲区

输出口数1

最大电压120V-500V

最大电流15A-60A

连接能力GPIB、USB、RS232

操作模式CV、CC、CR、CP