通道数 4
V/I 范围 100fA - 3A 100nV - 20V
精度 0.015% 6.5 位
最大速度 20k 个读数/秒到缓冲
最大电流源/量程50A-120mA
最大电压源/量程40V-3000V
测量分辨率(电流/电压)100fA / 100nV-1fA / 100nV
电源2000 W-180W
最大功率包络 60W DC
V & I 范围 100nV 至 1100V, 1pA 至 5A
精度 0.012% 6.5 位
最大速度 2000 rdgs/s 到缓冲
通道数 1 台脉冲发生器/1 台 SMU
脉冲发生器 V/I 范围 1 μA - 10 A 1 μV - 10 V
SMU V/I 范围 100 fA - 10 A 100 nV - 40 V
精度 脉冲发生器:0.05% SMU:0.015%
最大速度 1 M 个读数/秒
通道数 2 或 1
最小 V/I 脉冲源 <100 µs 0.1% 稳定
V/I 范围 0.1 fA 至 10 A, 100 nV 至 200 V
最大速度 20k 个读数/秒到缓冲
最大功率包络 100W DC 1000W 脉冲
V & I 范围 10n V 至 1100 V, 10 fA 至 10 A
最佳精度 0.012% 6.5 位
最大速度 1 MS/s 采样率 100 kS/s 到缓冲区